南京市科學(xué)技術(shù)委員會組織有關(guān)專家對我公司承擔(dān)的江蘇省科技支撐計(jì)劃（工業(yè)部分）項(xiàng)目“超大規(guī)模集成電路（VLSI）用超純硅烷氣體”進(jìn)行了驗(yàn)收。驗(yàn)收委員會聽取了林總經(jīng)理對項(xiàng)目工作總結(jié)、技術(shù)總結(jié)和經(jīng)費(fèi)使用情況的匯報(bào)，并審閱了相關(guān)資料。驗(yàn)收委員會一致認(rèn)為我公司“超大規(guī)模集成電路（VLSI）用超純硅烷”項(xiàng)目已完成合同規(guī)定的各項(xiàng)考核指標(biāo)，一致同意通過驗(yàn)收。

　　　“超大規(guī)模集成電路（VLSI）用超純硅烷”項(xiàng)目有效利用公司現(xiàn)有生產(chǎn)設(shè)備，通過改造低溫分離裝置、硅烷反應(yīng)釜和采用自有專利技術(shù)對生產(chǎn)過程中排放的無水液氨氣體進(jìn)行回收循環(huán)利用；形成利用現(xiàn)有生產(chǎn)裝置實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)99.9999%超純硅烷的能力；有效解決了產(chǎn)品包裝的技術(shù)難題。項(xiàng)目技術(shù)路線合理，解決的技術(shù)難題具有代表性，項(xiàng)目技術(shù)達(dá)到國內(nèi)領(lǐng)先水平。該項(xiàng)目已申報(bào)國家專利6項(xiàng)，其中發(fā)明專利4項(xiàng)（已公告），實(shí)用新型專利2項(xiàng)（已授權(quán)）。參與制定國家標(biāo)準(zhǔn)1項(xiàng)（已頒布實(shí)施）。

　　　此次承擔(dān)的江蘇省科技支撐計(jì)劃（工業(yè)部分）項(xiàng)目“超大規(guī)模集成電路（VLSI）用超純硅烷”項(xiàng)目順利通過了省轄市科技主管部門的驗(yàn)收，表明我公司在科技創(chuàng)新、研發(fā)等方面取得的巨大進(jìn)步，南京特種氣體廠有限公司將繼續(xù)加強(qiáng)產(chǎn)學(xué)研合作，促進(jìn)科技成果的轉(zhuǎn)化，促進(jìn)企業(yè)在電子氣體行業(yè)又好又快的發(fā)展打下堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)，并且借此基礎(chǔ)像蘇州金宏氣體一樣在電子氣體行業(yè)為國家做出貢獻(xiàn)。