三氯氫硅
分子量： 135.43熔點(diǎn)(101.325kPa)：-134℃；沸點(diǎn)(101.325kPa)：31.8℃；液體密度(0℃)：1350kg/m3；相對(duì)密度(氣體，空氣=1)： 4.7；蒸氣壓(-16.4℃)：13.3kPa；(14.5℃)：53.3kPa

；燃點(diǎn)：-27.8℃；自燃點(diǎn)：104.4℃；閃點(diǎn)：-14℃；爆極限：6.9～70%；性級(jí)別：3；易燃性級(jí)別：4；易爆性級(jí)別：