泵浦組件
本系列為多段羅茨干式真空泵浦，泵浦內(nèi)部是由一對(duì)多段式轉(zhuǎn)子組成的，逐級(jí)壓縮被 抽氣體，從而提高能源的有效利用率，減少損耗；同時(shí)因轉(zhuǎn)子為三葉轉(zhuǎn)子使之旋轉(zhuǎn)一周實(shí)現(xiàn)三次排氣，從而提高了排氣的穩(wěn)定性，降低排氣噪音。
轉(zhuǎn)子由一對(duì)齒輪帶動(dòng)同步運(yùn)轉(zhuǎn)；齒輪、軸承以氟化油作為潤(rùn)滑劑，并通過(guò)唇形密封與 腔體分隔在一個(gè)單獨(dú)的區(qū)域，故能使腔體保持在無(wú)油的工作狀態(tài)。
冷卻水
由于真空泵浦內(nèi)壓縮氣體從真空狀態(tài)到大氣壓力會(huì)產(chǎn)生熱量，因此需要冷卻水來(lái)保持馬達(dá)與泵體在安全的工作范圍之內(nèi)。冷卻水接頭使用易于安裝與拆卸的快速接頭， 以方便現(xiàn)場(chǎng)人員的安裝調(diào)試與檢修。
排氣端
在排氣端安裝有逆止閥，防止泵浦停止運(yùn)轉(zhuǎn)后排出的氣體回流到真空腔體內(nèi)。
控制系統(tǒng)
本系列干式真空泵浦裝配有漏電斷電開關(guān)（ELB）、馬達(dá)啟動(dòng)控制回路。為了增強(qiáng)泵浦運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中的可靠與安全性，泵浦重要部位的溫度都由感應(yīng)器監(jiān)控，并通過(guò)控 制面板對(duì)泵浦的實(shí)際運(yùn)轉(zhuǎn)狀況實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)顯示，其中包括電力供應(yīng)、冷卻水流量、馬達(dá) 線圈溫度與馬達(dá)電流值以及在運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中出現(xiàn)的異常狀況的警告！
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