高密度封裝指在一條基板上會(huì)有 2000 到 3000 顆獨(dú)立的芯片。這種封裝在 die bond 過(guò)程中通常會(huì)面臨點(diǎn)膠/畫(huà)膠的穩(wěn)定性、RBO(樹(shù)脂溢出)、open time(點(diǎn)膠到裝芯片的停留時(shí)間)以及銀膏覆蓋率的挑戰(zhàn)。賀利氏研發(fā)團(tuán)隊(duì)通過(guò)修改配方和工藝流程等方案克服了這些挑戰(zhàn)。本文將從這些方面佐證改善版的 DA295A 的有效性。
畫(huà)膠作業(yè)的穩(wěn)定性:
參數(shù)設(shè)置:
●畫(huà)膠圖案:Double Y
●畫(huà)膠速度:70% (ESEC 2100)
●畫(huà)膠壓力:0.85 bar
產(chǎn)品結(jié)構(gòu):高密度基板,一條基板有3200多顆GaAs芯片需要貼裝。
測(cè)試方法:使用相同的參數(shù)連續(xù)畫(huà)膠
判斷標(biāo)準(zhǔn):基于ESEC2100對(duì)膠形的檢測(cè),客戶設(shè)定的規(guī)格膠型變化<25%
圖1連續(xù)作業(yè)的畫(huà)膠表現(xiàn)
圖2 連續(xù)作業(yè)的畫(huà)膠表現(xiàn)
一條基板3200多顆需要35分鐘左右完成,連續(xù)兩條基板需要70分鐘左右完成畫(huà)膠。
結(jié)論:如圖1和圖2 所示,改善版的DA295A能夠保持非常穩(wěn)定的畫(huà)膠表現(xiàn),平均波動(dòng)在4%左右,遠(yuǎn)小于客戶的要求25%。
樹(shù)脂溢出問(wèn)題
RBO(樹(shù)脂溢出,Resin Bleeding Out)在烘烤過(guò)程中無(wú)法去除,也無(wú)法在wire bonding前的等離子清洗中完全清除,因此對(duì)打線和封裝會(huì)產(chǎn)生一定影響。賀利氏的ASP/DA295系列產(chǎn)品均采用無(wú)樹(shù)脂添加的溶劑配方體系,即全燒結(jié)配方體系(燒結(jié)完成后無(wú)殘留樹(shù)脂成分)。溶劑配方體系通常使用沸點(diǎn)較低的溶劑,在烘烤過(guò)程中達(dá)到沸點(diǎn)后溶劑將會(huì)揮發(fā)掉。在實(shí)際實(shí)驗(yàn)中,不同的基板DPAD表面處理會(huì)導(dǎo)致不同程度的溶劑溢出,如下圖所示。圖3-1展示了較少的溶劑溢出,而圖3-2則顯示了接近100%的溶劑溢出。
圖3-1 溶劑溢出
圖3-2 溶劑溢出
溶劑溢出(Solvents bleeding out)在烘烤前后和等離子清洗后我們做了對(duì)比測(cè)試,如表1所示:
備注:顯微鏡的燈光影響了照片的顏色
表1溶劑溢出和揮發(fā)測(cè)試
結(jié)論:溶劑溢出在烘烤可以揮發(fā)掉,等離子清洗也可以提供雙重的保障。
Open Time(time interval between dispensing and die attach)
在高密度封裝中,畫(huà)膠后到芯片貼裝時(shí)燒結(jié)銀膏能夠維持多長(zhǎng)時(shí)間而不發(fā)干的指標(biāo)非常重要。一旦燒結(jié)銀膏發(fā)干,將會(huì)影響芯片的貼裝質(zhì)量、貼裝后的銀膏覆蓋率,以及烘烤后的燒結(jié)強(qiáng)度,甚至可能導(dǎo)致在打線時(shí)出現(xiàn)芯片碎裂情況。
Open time測(cè)試:
選用常見(jiàn)的芯片尺寸(mm):0.74*0.70
測(cè)試條件,使用相同的畫(huà)膠參數(shù)以獲得一致的膠量,在同一時(shí)間畫(huà)膠,根據(jù)不同的時(shí)間間隔使用相同的參數(shù)進(jìn)行貼裝芯片。
判斷標(biāo)準(zhǔn):在BLT(Bond Line Thickness)在20~30um內(nèi),銀膏覆蓋率達(dá)到100%。
圖4 open time測(cè)試結(jié)果
結(jié)論:如圖4所示,改善版DA295A在芯片0.74*0.7的條件下可以到達(dá)60分鐘的open time;在90分鐘時(shí)通過(guò)調(diào)整裝片的距離也是可以達(dá)到100%的銀膏覆蓋。
燒結(jié)銀膏的覆蓋率
高密度封裝意味著在當(dāng)前標(biāo)準(zhǔn)的基板尺寸內(nèi)排列更多的個(gè)體單元,即減小焊盤(pán)尺寸壓縮芯片的貼裝面積。在高密度封裝中,芯片邊緣到焊盤(pán)的距離變得更小,例如有些產(chǎn)品設(shè)計(jì)了80~100um的距離,如圖5所示。
圖5 高密度的設(shè)計(jì)示意圖
這種高密度的設(shè)計(jì)對(duì)封裝工藝帶來(lái)挑戰(zhàn),需要精確地控制燒結(jié)銀膏的體積,并同時(shí)實(shí)現(xiàn)100%的銀膏覆蓋率。相比常規(guī)產(chǎn)品,畫(huà)膠圖案的尺寸要小于芯片的尺寸。因此,對(duì)燒結(jié)銀膏的要求也更高,除了要具有穩(wěn)定的作業(yè)性,還要求貼裝芯片之后達(dá)到100%的覆蓋率。
燒結(jié)銀膏覆蓋率:
測(cè)試方法:通過(guò)控制畫(huà)膠圖案的尺寸和裝片的高度,在裝片時(shí)控制銀膏的溢出。
檢測(cè)方法:在顯微鏡下檢查芯片底部銀膏覆蓋。
判斷標(biāo)準(zhǔn):銀膏覆蓋率達(dá)到100%,且沒(méi)有超出焊盤(pán)。
在芯片貼裝后將基板取出,在顯微鏡下檢查發(fā)現(xiàn)芯片的四周都有均勻的銀膏覆蓋,完全滿足100%覆蓋率的要求,如圖6-1所示。
圖6-1顯微鏡下檢測(cè)結(jié)果
經(jīng)過(guò)充分的驗(yàn)證,改善版的DA295A在貼裝芯片后能夠達(dá)到100%的覆蓋率。針對(duì)一些高密度的緊湊設(shè)計(jì)DA295A是有效的解決方案。
可靠性測(cè)試
改善版的DA295A已通過(guò)多家客戶的作業(yè)性測(cè)試,并完成整個(gè)封裝流程。經(jīng)過(guò)可靠性測(cè)試,具體數(shù)據(jù)見(jiàn)表2,SAT掃描未發(fā)現(xiàn)分層現(xiàn)象,電性能測(cè)試也通過(guò)。
表2可靠性測(cè)試結(jié)果
總結(jié)
1.改善版的DA295A具有穩(wěn)定的作業(yè)性。
2.溶劑體系的配方在烘烤后溢出的溶劑能夠揮發(fā)掉,不會(huì)對(duì)打線鍵合產(chǎn)生影響。
3.較長(zhǎng)的open time能夠滿足高密度封裝的需求,避免分段式作業(yè)。
4.能夠解決緊湊型設(shè)計(jì)的銀膏覆蓋率問(wèn)題。
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